(1) 對活性氣體的抽除
對N2、O2、CO和CO2等氣體(ti)的(de)排除主要(yao)靠淀(dian)積(ji)于陽極筒(tong)內壁上(shang)的(de)鈦膜的(de)化學吸附(fu)。
(2) 對氫氣的抽除
對(dui)氫氣的抽除有(you)化學吸(xi)附,也有(you)擴散、吸(xi)收、溶解作用。
(3) 對(dui)惰性氣(qi)體(ti)的(de)抽除(chu)
對惰性氣體的(de)排除,主要靠離子“掩埋”,被(bei)電離的(de)惰性氣體的(de)離子轟(hong)擊陰極時,有以下三(san)種情況(kuang):
a、離子直接打入陰(yin)極(ji)內,或打入陰(yin)極(ji)邊緣對面的陽極(ji)板上的鈦(tai)淀積層(ceng)內;
b、斜射(she)的離子(zi)切入陰極(ji)表面,離子(zi)和鈦一起(qi)被掀掉而(er)沉積在陰極(ji)板的周圍(wei)或其它地方;
c、離子沒有打入板內,但是(shi)從陰極(ji)得到電子而復合為中性原子,然后(hou)又反射到陽極(ji)內表(biao)面的鈦膜中。