鈦強制循環泵的電源是高內阻電源，空載輸出電壓在3-7kv之間，但負載電流大時輸出電壓下降到400V V左右，一般循環泵采用5KV倍壓整流電源。通過流經鈦強制循環泵陽極和陰極的放電電流可以反映出被抽空間的真空度。循環泵在額定電壓和磁場強度下的放電電流Iion(mA)與壓強P(Torr)有一定的曲線關系。因此，循環泵的電源可以反映壓力。

泵電(dian)源(yuan)面板(ban)顯示:輸出(chu)DC高壓(ya)、鈦強(qiang)制循環泵放電(dian)電(dian)流等。

(1)極限壓力:10-8 Pa

(2)泵送速度:

  鈦強(qiang)(qiang)制(zhi)循環泵(beng)的抽(chou)速(su)(su)與陽極電壓和磁(ci)場強(qiang)(qiang)度(du)有關(guan)。磁(ci)場強(qiang)(qiang)時(shi)，抽(chou)氣速(su)(su)度(du)也(ye)高，較(jiao)好的抽(chou)氣速(su)(su)度(du)對應的陽極電壓也(ye)高。常(chang)用鈦強(qiang)(qiang)制(zhi)循環泵(beng)的抽(chou)速(su)(su)有25升/秒(miao)和5升/秒(miao)。對于需要大抽(chou)速(su)(su)的場合，抽(chou)速(su)(su)可達50 L/s、100 L/s等。通過并聯(lian)連接基(ji)本結構單元。

(3)啟動壓力:10-2 Pa

(4)壽命

a、陰極耗盡壽命

  陰極鈦板(ban)因(yin)濺射穿透而不(bu)能使(shi)用。

b、陽極剝離壽命

  當沉積在陽極上的(de)鈦膜厚度過大時，就(jiu)會剝落，導(dao)致泵內壓(ya)力發生不規(gui)則(ze)而強烈的(de)變化，使泵無法使用。

c、陽極飽和壽命

  大(da)量的氦(hai)氣和(he)氫氣被吸附溶解在陽極上，達到飽(bao)和(he)時泵就不(bu)能(neng)再(zai)吸附氣體了(le)。

  在(zai)正常(chang)使用情況下，循環(huan)泵的(de)使用壽(shou)命(ming)可(ke)達數萬小時。