鈦泵分熱鈦泵與冷鈦泵，一般用濺射離子源，是冷鈦泵，是一種新型表面吸附型泵。它利用化學性質活潑的鈦金屬具有很強的吸氣能力。

其抽氣機理為：

   （1）活性氣體分子碰撞在新(xin)鮮的鈦(tai)(tai)膜上(shang)，由于化學(xue)吸附形成穩定的化合物。隨后(hou)又被不(bu)斷蒸發與濺射而形成的新(xin)鈦(tai)(tai)膜所覆蓋，新(xin)鮮鈦(tai)(tai)膜又繼續吸附氣體分子，形成穩定的抽氣能力。

   （2）非(fei)活(huo)性(xing)氣體分子(zi)（如氬(ya)、氦(hai)等惰(duo)性(xing)氣體）被電離(li)后，在電場力(li)的(de)作(zuo)用下，打在鈦(tai)膜上(shang)，隨之(zhi)又被蒸發的(de)新鈦(tai)膜“掩埋(mai)”掉。

   （3）活性氣體分子(zi)離子(zi)化(hua)后激發為亞穩(wen)態，（或(huo)解離為單個離子(zi)）增加化(hua)學活性，使(shi)泵的抽(chou)速增加。